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Edwards STP Maglev 真空分子涡轮泵的应用
* 来源 : 涡轮泵 * 作者 : 涡轮泵 * 发表时间 : 2019-09-23 * 浏览 : 347
本站提供Edwards爱德华真空泵,真空计,真空泵油,真空泵维修业务,如未找到您所需要的产品,请联系我们15301310116(微信同号) 为了实现始终如一的可靠性能 和零维护,您每次都可以依赖于 Edwards 的 STP Maglev 涡轮分子泵 来实现。 STP Maglev 涡轮分子泵于 1983 年售出,现在已经在世界各地 安装了 166,000 多套。其中的 85% 都运行于半导体制程工具中, 表现出了好的性能级别和可靠性。 对于需要长时间正常运行、无碳氢 化合物泵送、维护量少和低振动的应用, STP Maglev 涡轮分子泵是优选泵。转子通过磁力轴承实现完全 悬浮,因此,消除了转子与泵其余部分之间的 所有接触。除振动极低之外,消除接触 还意味着转子旋转时 不会发生轴承接触,也就无需对泵进行后续 维护。 产品开发的每个设计阶段均 融合了节能技术,以确保降低 能耗和提升运行效率,同时不损害 质量和性能。 提高了生产效率: 更快抽空到基准压力 体积紧凑: 节省空间并且易于安装 低拥有 成本: 低功耗和水电消耗 免维护: 经济 STP Maglev真空分子涡轮泵的应用
平板显示器:我们丰富多样的 STP Maglev 涡轮分子泵旨在很大限度地提高基板吞吐量和零湿度制程条件,同时尽可能降低功耗、占地面积和重量。
LED:我们新的 STP Maglev 涡轮分子泵产品系列是适用于大容量高流速应用的“一体化”低功耗紧凑型解决方案。
光电:我们的 STP Maglev 涡轮分子泵已进行优化,可满足客户的特定应用要求,同时具有好的制程气体处理能力、始终如一的性能的高可靠性。
半导体加工:完全磁悬浮转子经过专门设计,降低了舱室污染并延长了维修间隔,使得 STP Maglev 涡轮分子泵成为您的制程工具的可靠之选。 温馨提示:爱德华edwards真空产品,麦迪森站全都有,包含各型号真空泵,真空计,真空泵油,残余气体分析仪,氦质谱检漏仪,真空配件等所有的产品,如未在本站找到相应的产品,请联系在线客服或是邮件询问,电话:15301310116,
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