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爱德华钛升华泵(TSP)的原理
* 来源 : Edwards * 作者 : admin * 发表时间 : 2022-09-01 * 浏览 : 717

        当需要维持高真空或者chao高真空的实验环境时,只依靠前级泵和分子泵往往无法达到计划中的真空度,这个时候用户往往会选择钛升华泵和离子泵来辅助维持高真空的状态以下是麦迪森小编总结的关于爱德华钛升华泵(TSP)的原理

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爱德华钛升华泵


TSP的工作原理是加热钛丝并将钛分子升华(从固相转化为气相)到某个表面上。升华后的钛分子可以与反应气体(例如氧气和氮气)发生化学反应,同时通过扩散的方式来吸附游离氢气。TSP可在10-510-12 mbar的范围内工作,氢气抽速超过10,000 ls-1

钛升华泵(TSP)的抽气机理是化学吸附。升华器升华的钛沉积在冷的泵体壁面上,形成新鲜的钛膜,对氮、氧和一氧化碳等活性气体有比较强烈的吸附作用,并形成氮化钛、碳化钛和氧化钛等稳定的化合物,但对惰性气体和甲烷几乎不吸附。钛膜吸附气体只能是单分子层的,在已吸附气体分子的位置上不能再吸附气体。因此,钛升华器需要不断地升华,使泵体壁面上不断地沉积新的钛膜,才能达到连续抽气的目的。

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