复合型离子泵是一种真空泵，通过使用电场和磁场来操作离子以抽取气体，从而实现对真空系统的抽气。这种泵通常被设计用于维持高真空或超高真空环境，适用于实验室设备、粒子加速器、半导体制造等领域。

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Agilent安捷伦CombiTSP 150 

复合型离子泵的主要特点包括：

电场和磁场操作： 内部包含电极和磁体系统，通过产生电场和磁场来操作离子，引导它们沿着设定的方向移动。

电离源： 泵内通常包含一个电离源，用于将气体分子转化为正负两种离子。电离源的类型可以包括电子轰击或化学电离。

离子的引导： 通过电场和磁场的作用，正负离子受到力的作用，从而在系统内运动并被引导向泵的排气口。

排气口： 抽取的离子通过排气口排放到外部环境，从而形成一个低压的真空环境。

高真空和超高真空应用： 复合型离子泵主要应用于高真空和超高真空的环境中，可以有效地维持系统的低压状态。

泵速： 复合型离子泵具有较高的泵速，使其能够迅速抽取气体，降低系统的气体压力。

多种气体适用性： 由于其操作原理，复合型离子泵对多种气体都具有较好的抽气效果，使其适用于不同气体组成的环境。

应用领域： 广泛应用于科学实验室、粒子加速器、半导体制造和其他需要维持低压环境的领域。

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