流体馈通是真空系统专用介质穿腔组件，依靠中空管路与密封结构，在维持腔体真空密封性的前提下，将气体、液体输送至真空腔内部，全系采用 316 不锈钢材质，标配 Swagelok、VCR 两种标准接头，适用温区 - 200℃~450℃，分为常温流体馈通、低温流体馈通两大系列，适配各类超高真空设备，可按需定制。

常温流体馈通

配备 VCR、Swagelok 两种接头规格，可选 1/8"、1/4" 管径，可输送水、油、常规工艺气体等常温流体。VCR 款金属垫片密封，超高真空密封性更强；Swagelok 卡套式拆装便捷，适合常规中高真空设备使用。

低温流体馈通

统一采用 1/4" 管路规格，同样支持 VCR、Swagelok 接头，专为液氮、低温冷媒、低温工艺气体设计，同的安装法兰和管道数量供选择，可咨询定制法兰尺寸、管道直径、管道长度等参数，也可选择单管道的标准安装基座馈通。可提供馈通真空端相关配件。

想了解流体真空馈通详细参数，欢迎随时与北京麦迪森科技联系15301310116（微信同号）。