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涡轮分子泵是什么?它的工作原理是怎样的?
* 来源 : * 作者 : admin * 发表时间 : 2023-07-04 * 浏览 : 205

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涡轮分子泵是一种用于高真空和超高真空环境下的真空泵。它基于分子流动和转子动力学原理工作,主要用于将气体分子从真空室中抽出,以实现高真空状态。

涡轮分子泵的工作原理如下:

转子运动:涡轮分子泵内部有一个高速旋转的转子,由多个弯曲的叶片组成。转子通过电机驱动快速旋转,一般转速可达几万到十几万转/分钟。

Edwards爱德华nEXT涡轮分子泵

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气体抽取:当转子旋转时,气体分子进入泵的吸气侧,并被转子叶片的动力学效应捕获。转子叶片的运动将气体分子带到泵的排气侧,并将其排出系统。

分子碰撞:在转子的运动过程中,气体分子之间会发生碰撞,从而使气体分子的能量分散,并逐渐增加气体分子的平均速度。

漏气控制:涡轮分子泵内部还设置了一个定向导流器,用于控制气体分子的流动方向,以避免气体的回流和漏气。

通过上述工作原理,涡轮分子泵能够快速抽取气体分子,将气体从真空室中抽出,从而降低气体分子的密度和压力,实现高真空或超高真空的环境。


以上就是北京麦迪森科技有限公司提供的涡轮分子泵介绍及工作原理。

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