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涡轮分子泵如何实现高真空度的抽取?
* 来源 : * 作者 : admin * 发表时间 : 2023-07-05 * 浏览 : 98

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涡轮分子泵是一种高真空抽气装置,可实现高真空度的抽取。以下是涡轮分子泵实现高真空度的关键机制和方法:

分子流抽气:涡轮分子泵通过创建高速旋转的涡轮,使气体分子受到离心力的作用,从而形成一个分子流。分子流将气体分子从泵的入口抽出,并将其排放到泵的出口。这种分子流抽气机制可以有效地抽取气体,并提供高真空度。

爱德华Station85涡轮分子泵组

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泵速调节:涡轮分子泵的泵速是指涡轮旋转的速度。通过调节泵速,可以控制分子流的速度和抽气能力。为了实现高真空度,通常需要较高的泵速。涡轮分子泵的泵速可以根据需要进行调节和优化。

泵腔设计:涡轮分子泵的泵腔设计对于实现高真空度也至关重要。泵腔内部通常采用光滑、无缝的设计,以减少气体分子在泵内的停留和吸附。此外,泵腔内部的材料也要选择具有低气体吸附和挥发性的材料,以避免对真空度的影响。

前级泵的使用:涡轮分子泵通常与前级泵(例如机械泵或根泵)一起使用,以提供初始抽气和压缩气体。前级泵可以将大部分气体抽出,然后涡轮分子泵将气体进一步抽取到高真空度。这种前级泵的组合可实现更高的真空度。

清洁和维护:为了保持涡轮分子泵的高真空度抽气性能,定期的清洁和维护是必要的。这包括清除泵内的污染物和气体吸附物,确保旋转部件的正常运行,并定期更换耗材(如涡轮轴承)。


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