典型的CF法兰材料有奥氏体不锈钢 304L、316L、316LN 和表面硬化铝合金等；密封垫片可以采用多种材料，垫片的材料决定了接头的耐温，并在一定程度上决定了所能达到的极限压力。

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无氧铜垫片：可以用于1E-13mbar以下的超高真空，耐受 -196° C 到 450°C 之间的温度循环。然而，在高温烘烤时，垫片暴露在空气中的部分会氧化形成一层氧化膜，在法兰拆卸过程中，氧化膜可能会剥落到腔室中。对于需要频繁长期高温烘烤的系统，建议使用镀银合金垫片。

镀银垫片：可以达到和无氧铜垫片相同的真空度，耐受同样的温度，但是烘烤时不容易被氧化或者与法兰粘连，在真空下的放气率也更低。

铝制垫片：铝制的CF法兰需使用铝制垫片——而不是铜制的。但是，如果烘烤温度限制在 200°C 以下，铝垫片可用于不锈钢CF法兰。

氟橡胶（FKM/Viton）、聚四氟乙烯（PTFE/Teflon）等非金属材质的垫片：由于垫片材料本身的物理性质限制，非金属垫片的无法耐受特别高温度的烘烤，而且由于非金属材料具有更高的放气率和渗透率，所以使用非金属垫片时很难获得非常高的真空度。

CF法兰使用注意事项

CF法兰使用时有几个注意点：螺栓一定要涂抹MoS2，以免螺栓和螺母咬合卡死；法兰外周要对齐；法兰面要保持一点距离，为烘烤后继续上紧螺栓留出余地。

CF法兰中，刀口要切入金属密封圈来实现真空密封。长期使用，刀口会逐渐变钝。另外，受硬器碰撞后刀口容易受伤。这时的补救措施之一，是使用IPD金属密封圈。IPD金属密封圈不依靠法兰的刀口，而依靠刀口外周的斜面来密封。

以上就是北京麦迪森科技小编分享的真空CF 法兰和垫片的选料选择及使用注意事项的介绍，希望对大家有所帮助。